Hidrojenlendirilmiş amorf silisyum tabanlı yansıtmaz kaplamaların üretilmesi ve optik özelliklerinin incelenmesi

OLDOUZ TOFİGH KOUZEHKONANİ

Hidrojenlendirilmiş amorf silisyum tabanlı yansıtmaz kaplamaların üretilmesi ve optik özelliklerinin incelenmesi

Tezin Türü: Yüksek Lisans

Tezin Yürütüldüğü Kurum: Hacettepe Üniversitesi, Fen Bilimleri Enstitüsü, Temiz Tükenmez Enerjiler A.B.D., Türkiye

Tezin Onay Tarihi: 2014

Tezin Dili: Türkçe

Öğrenci: OLDOUZ TOFİGH KOUZEHKONANİ

Asıl Danışman (Eş Danışmanlı Tezler İçin): AKIN BACIOĞLU

Açık Arşiv Koleksiyonu: AVESİS Açık Erişim Koleksiyonu

Özet:

Tek katmanlı a-SiOx:H ve a-SiNx:H ile çift katmanlı a-SiOx:H/a-SiNx:H yapısında yansıtmaz kaplamalar tasarlanmış ve 13,56 MHz RF-plazma destekli kimyasal buhar biriktirme (PECVD) yöntemi ile cam ve tek kristal silisyum alttabanlar üzerine büyütülmüştür. a-SiOx:H ince filmler, 8 sccm CO2 ve 2 sccm SiH4 geçirilerek elde edilen gaz karışımının plazması kullanılarak; a-SiNx:H örnekler ise 8 sccm N2 ve 2 sccm SiH4 gaz karışım ile üretilmiştir. Üretilen ince filmlerin 550 nm dalgaboyunda kırma indisleri, a-SiOx:H için, 1,83 ve a-SiNx:H için, 2,33 olarak hesaplanmıştır. Film kalınlıklarının, örnek üretim sürelerine bağlı fonksiyonları türetilmiştir. Bu fonksiyonlar kullanılarak yansıtmaz kaplamaların tasarımında gerekli kalınlıklar için deney süreleri belirlenmiştir. Tek katmanlı a-SiOx:H yansıma önleyicilerin kaplanmasıyla optik yansıma, a-SiOx:H için cam üzerinde 512 nm'de 0,087, silisyum üzerinde 562 nm'de 0,0024 olarak; tek katmanlı a-SiNx:H yansıtmaz kaplama ile cam üzerinde 542 nm'de 0,095 ve tek kristal silisyum üzerinde, 520 nm için 0,085 ölçülmüştür. Çift katmanlı a-SiOx:H/a-SiNx:H yansıma önleyici kaplamanın yansıma miktarı, cam üzerinde 528 nm'de 0,036 ve silisyum üzerinde 548 nm'de 0,0084 ölçülmüştür. Yansıtmaz kaplamaların güneş gözelerine uygulanmasıyla, performans değerlendirmesi de yapılmıştır. Güneş gözelerine, tek katman a-SiOx:H ve a-SiNx:H ve çift katman a-SiOx:H/a-SiNx:H kaplanmasıyla, tayfsal duyarlılık sırasıyla, 0,32'den 0,39 A/W'a, 0,43'ten 0,47 A/W'a ve 0,37'den 0,41 A/W'a artmıştır. Güneş gözelerinin verimliliği ise, aynı sırayla, 0,005'ten 0,009'a, 0,002'den 0,003'e ve 0,014'ten 0,018'e artmıştır.