Characterization of HfO2 films prepared by microwave assisted dc magnetron sputtering

DUYAR COŞKUN Ö., PLACİDO F., SONG S.

1st European School on Ellipsometry, 21 - 25 Eylül 2008

  • Yayın Türü: Bildiri
  • Hacettepe Üniversitesi Adresli: Evet