ELECTRICAL PROPERTIES OF a Si H AND a SiN H FILMSPREPARED BY GLOW DISCHARGE

---

Atıf İçin Kopyala

AY İ., TOLUNAY H.

Proceedings of the Tenth ISCMP, Thin Film Materials andDevices-Developments in Science and Technology, J M Marshall, Nikolav Kirov, Alexander Vavrek,J M Maud, Editör, World Scientific Publishing Company, ss.337-340, 1999

• Yayın Türü: Kitapta Bölüm / Mesleki Kitap
• Basım Tarihi: 1999
• Yayınevi: World Scientific Publishing Company
• Sayfa Sayıları: ss.337-340
• Editörler: J M Marshall, Nikolav Kirov, Alexander Vavrek,J M Maud, Editör
• Hacettepe Üniversitesi Adresli: Evet