Preparation and Optimization of High Quality TiN Films

DUYAR COŞKUN Ö., KOÇUM İ. C., DURUSOY H. Z.

Turkish Journal of Physics, cilt.27, ss.519-527, 2003 (Scopus, TRDizin)

  • Yayın Türü: Makale / Tam Makale
  • Cilt numarası: 27
  • Basım Tarihi: 2003
  • Dergi Adı: Turkish Journal of Physics
  • Derginin Tarandığı İndeksler: Scopus, TR DİZİN (ULAKBİM)
  • Sayfa Sayıları: ss.519-527
  • Hacettepe Üniversitesi Adresli: Evet