Preparation and Optimization of High Quality TiN Films


DUYAR COŞKUN Ö. , KOÇUM İ. C. , DURUSOY H. Z.

Turkish Journal of Physics, cilt.27, ss.519-527, 2003 (ESCI İndekslerine Giren Dergi)

  • Yayın Türü: Makale / Tam Makale
  • Cilt numarası: 27
  • Basım Tarihi: 2003
  • Dergi Adı: Turkish Journal of Physics
  • Sayfa Sayıları: ss.519-527