Tezin Türü: Yüksek Lisans
Tezin Yürütüldüğü Kurum: Orta Doğu Teknik Üniversitesi, Fen Bilimleri Enstitüsü, Mikro Ve Nanoteknoloji Anabilim Dalı, Türkiye
Tezin Onay Tarihi: 2021
Tezin Dili: İngilizce
Öğrenci: ANIL HATİBOĞLU
Asıl Danışman (Eş Danışmanlı Tezler İçin): Haluk Külah
Eş Danışman: Selis Önel Kayran